為滿足航天器熱試驗常用真空計及標準漏孔的校準需要，研制了多功能真空校準裝置。該裝置可用于進行熱偶真空計、壓阻規、電容薄膜真空規、潘寧規、熱陰極電離規等真空測量傳感器的校準，同時也可以用于滲透型真空漏孔的校準。裝置選用靜態比對法、動態比對法、質譜比對法設計建成，真空校準范圍為1.33×10⁵ Pa～1×10^-4 Pa，真空漏孔校準范圍為5×10^-5～5×10^-9 Pa·m³/s，裝置智能化水平高，操作簡便，適合真空規管的批量校準。

　　隨著我國空間科學技術的發展，真空測量技術也得到長足進步，已廣泛應用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業。特別是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領域的飛速發展，對真空測量提出了更高的要求，相應的高精度、高可靠性的真空計量校準需求也應運而生。

　　傳統的實驗室真空校準裝置大多系統設計復雜，研制費用高，校準耗時長，無法滿足航天器研制任務的需要。本文研制了一套多功能真空校準裝置，該裝置選用靜態比對法、動態比對法以及質譜比對法的校準原理研制而成，通過設計不同量程的電容薄膜規組成標準規組的方法，解決了單一標準規在滿量程范圍內精度偏差的問題。裝置具有操作簡易，自動化程度高，可批量校準等特點，裝置校準范圍既覆蓋了航天領域主要真空校準需求，又具有研制成本低，綜合性價比高的優點。

　　1、校準裝置設計組成

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　　2、多功能真空校準裝置的校準原理方法

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　　3、多功能真空校準裝置的主要性能指標

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　　4、結束語

　　經實際測試，本裝置各項性能參數優于設計指標，其中高真空校準下游室的極限真空度比設計指標提高了一個數量級，真空校準范圍也有一定的拓寬，選用的無油多級真空抽氣系統解決了裝置長時間工作可凝物污染的問題。多功能真空校準裝置因其簡便易于操作，可大批量校準等特點，在提高航天設備可靠性和產品質量方面起到了很好的促進作用，為我國國防科學技術的發展提供了基礎設施保障。