圖1 所示為典型的分子泵加鈦升華吸氣泵的真空抽氣系統。該系統各零部件均按超高真空衛生條件進行清洗后組裝。渦輪分子泵，鈦升華泵的冷卻水壓力為0.03 MPa，鈦升華器可連續調節升華率。系統漏氣率＜10^{- 8} Pa·L/s，系統預抽真空為1 Pa，環境工作溫度為20～25℃。

1.分子泵　2.冷阱　3.放氣閥　4.鈦升華泵　5. 電離規　6. 熱傳導規　7.粗抽閥　8.機械泵　9.前級閥　10.高真空閥

圖1 分子泵加鈦升華泵真空系統

　　在系統中正確地使用鈦升華泵是一個很重要的問題。一般應該隨著系統真空度的變化采用不同的鈦升華率和工作周期，其目的是節約鈦的消耗量，以延長鈦升華器的使用壽命。

　　該系統組裝好后，如果各部份都不烘烤去氣。開動機械泵預抽真空，當真空達到1 Pa 時啟動渦輪分子泵。系統最終可達到的真空度為10^{- 5} Pa。如果對系統烘烤去氣， 渦輪分子泵烘烤85℃，鈦升華泵烘烤350℃，B- A 規管（或冷磁控規管）烘烤350℃，烘烤時系統內抽預真空為1 Pa。經過徹底烘烤除氣（～24 h）后，啟動渦輪分子泵和鈦升華泵一同工作，該系統最終真空度可達到1.5×10^{- 9} Pa。

　　采用渦輪分子泵和鈦升華泵組合系統的優點如下：

1.系統的極限真空度有所提高

　　兩泵組合使用后系統的極限真空度有所提高，在不烘烤的情況下也可以提高一個數最級以上，而且系統進入高真空的時間短，故特別適用于不允許烘烤而工作周期短的無油真空系統。通過烘烤去氣后，該系統最終能達到10^{- 9} Pa的真空度�？梢杂糜跇O限真空度高的無油真空系統中。另外，分子泵加鈦升華泵系統的使用與維護方便，成本低廉。

2.抽速增加

　　該系統對空氣、氮氣、氫氣的抽速都大于該系統兩泵單獨抽速相加關系。抽速的增加可以解釋為氣體中的惰性氣體被分子泵排走，而且質量越大，排走的幾率也越大，這樣升華泵內鈦膜被惰性氣體占去的空位幾率少，能充分發揮鈦升華泵鈦膜的有效吸氣作用。鈦膜對象氬這樣的惰性氣體的吸氣能力較低，惰性氣體主要由分子泵來抽除。只要不用該系統來排除純惰性氣體或含惰性氣體多的氣體。該合系統的適用性是很強的，對提高真空系統的性能和降低成本是大為有利的。