用于滿足某種工藝要求,能夠獲得并測量有特定要求真空度的系統稱真空系統。一個較完善的真空系統由真空室、所需的真空泵或真空機組、真空測量裝置、連接導管、真空閥門、捕集器、及其它真空元件及電氣控制系統構成。典型的真空系統如圖1及圖2所示。

1. 真空室放氣閥2. 電離真空規3. 熱偶真空規4. 流量調節閥5. 高真空閥6. 擴散泵7. 儲氣罐8. 熱偶規管( 測擴散泵前級壓力) 9. 前級真空閥10. 壓力傳感器11. 預抽閥12. 羅茨真空泵13. 旁通閥14. 電磁放氣閥15. 機械真空泵

圖1 典型真空系統原理圖

1. 真空室2. 電離真空規3. 熱偶真空規4. 放氣閥5. 高真空閥6. 冷阱7. 擴散泵8. 前級真空閥9. 電磁放氣閥10. 機械真空泵11. 預抽閥

圖2 典型真空系統原理圖

        真空系統按其工作壓力進行分類,可分為:1)粗真空系統(工作壓力大于1330Pa);2)低中真空系統(工作壓力在1330~0.13Pa);3)高真空系統(工作壓力在0.13~1.3×10-6Pa);4)超高真空系統(工作壓力在1.3×10-6～1.3×10-10Pa) ;5)極高真空系統(工作壓力低于1.3×10-10Pa) 。

       按真空系統所要求的清潔程度可分為:1)有油真空系統(真空室有油蒸汽污染);2)無油真空系統(真空室無油蒸汽污染)。