研制了一套基于計(jì)算機(jī)控制的GaAs 光電陰極智能激活系統(tǒng),該系統(tǒng)可在計(jì)算機(jī)控制下嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)工藝對(duì)GaAs 光電陰極進(jìn)行智能激活,并可在線測(cè)量陰極的光譜響應(yīng)曲線。利用該系統(tǒng)分別進(jìn)行了智能激活和人工激活實(shí)驗(yàn),采集了激活過(guò)程中的光電流變化曲線,分析發(fā)現(xiàn),和智能激活過(guò)程相比,由于人工激活過(guò)程出現(xiàn)了誤操作,相鄰光電流峰值間的差值下降很快,Cs、O 交替的次數(shù)也較少。人工激活過(guò)程中Cs、O 交替6 次,光電流最大值為43μA ,激活后GaAs 光電陰極的積分靈敏度為796μA/lm。智能激活過(guò)程中Cs、O 交替9 次,光電流最大值為65μA ,激活后GaAs 光電陰極的積分靈敏度為1100μA/lm。

　　1968 年,A. A. Turnbull 和G. B. Evans 用在GaAs陰極表面交替覆蓋Cs、O 的激活方式首次制成了負(fù)電子親和勢(shì)光電陰極。自上世紀(jì)70 年代實(shí)用化以來(lái),GaAs 光電陰極因具有量子效率高,暗發(fā)射小,發(fā)射電子的能量分布及角分布集中,長(zhǎng)波閾可調(diào),長(zhǎng)波響應(yīng)擴(kuò)展?jié)摿Υ蟮葍?yōu)點(diǎn),在高性能微光像增強(qiáng)器、自旋電子學(xué)等眾多領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。國(guó)內(nèi)GaAs 負(fù)電子親和勢(shì)光電陰極的激活制備過(guò)程尚處于人工操作階段,人為因素造成的誤差會(huì)在很大程度上限制GaAs 光電陰極的成品率,如果由計(jì)算機(jī)精確控制GaAs 陰極的激活過(guò)程,則可避免人為因素帶來(lái)的不確定性和對(duì)經(jīng)驗(yàn)的依賴,顯著提高陰極的成品率和生產(chǎn)效率�；�于上述考慮,我們首次成功研制了GaAs 光電陰極智能激活系統(tǒng),目前國(guó)內(nèi)外尚未見(jiàn)同類系統(tǒng)的公開(kāi)報(bào)道。該系統(tǒng)可在計(jì)算機(jī)控制下對(duì)GaAs 光電陰極進(jìn)行智能激活,計(jì)算機(jī)智能激活控制程序能夠按標(biāo)準(zhǔn)工藝精確控制GaAs 光電陰極的激活過(guò)程,制備過(guò)程重復(fù)性更好,可大大提高GaAs 光電陰極的成品率和生產(chǎn)效率。該系統(tǒng)還可在線測(cè)量GaAs 光電陰極的光譜響應(yīng)曲線。利用該系統(tǒng),我們對(duì)GaAs 光電陰極進(jìn)行了基于計(jì)算機(jī)控制的智能激活,并將智能激活過(guò)程和人工激活過(guò)程進(jìn)行了對(duì)比,發(fā)現(xiàn)智能激活具有很大的優(yōu)越性。

1、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及工作原理

1.1、系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)

　　GaAs 光電陰極智能激活系統(tǒng)原理框圖如圖1所示。系統(tǒng)由兩大部分組成,一部分完成光電流的采集,另一部分控制單色光的輸出和Cs、O 程控電流源電流信號(hào)的輸出和采集。

圖1 　GaAs 光電陰極智能激活系統(tǒng)原理框圖

　　微弱信號(hào)處理模塊通過(guò)施加200V 的電壓來(lái)收集陰極光電流,該處理模塊具有光電隔離功能,可以有效地濾除干擾信號(hào),精密檢測(cè)1nA～200μA 之間的光電流。光電流經(jīng)微弱信號(hào)處理模塊放大處理后轉(zhuǎn)換為0 - 5V之間的電壓信號(hào)輸入計(jì)算機(jī)。計(jì)算機(jī)通過(guò)16 位A/ D 卡對(duì)輸入的電壓信號(hào)進(jìn)行采集,從微弱信號(hào)處理模塊過(guò)來(lái)的電壓信號(hào)接到16 選1的模擬輸入多路器上,在軟件的控制下選通所需的輸入通道,當(dāng)有電壓輸入時(shí),該通道將模擬輸入信號(hào)送至采樣保持器,然后通過(guò)軟件觸發(fā)A/ D 轉(zhuǎn)換,當(dāng)A/ D 轉(zhuǎn)換完成時(shí),將16 位電壓數(shù)據(jù)從A/D卡讀入到計(jì)算機(jī)內(nèi)存中。計(jì)算機(jī)把讀入的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的光電流,以完成對(duì)光電流的采集。在采集光電流的過(guò)程中,計(jì)算機(jī)通過(guò)I/ O 卡選擇不同的放大電阻,控制微弱信號(hào)處理模塊對(duì)光電流的放大倍率。光柵單色儀使用12V/ 100W的鹵鎢燈作為白光光源。在程控狀態(tài)下,單色儀中的中央處理器接收計(jì)算機(jī)發(fā)出的控制信號(hào),并產(chǎn)生步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)單元所需的時(shí)序。步進(jìn)電機(jī)根據(jù)中央處理器輸出的信號(hào),帶動(dòng)光柵臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的掃描,提供光譜響應(yīng)測(cè)試所需的400nm～1000nm 之間的單色光。單色光采用光纖傳輸,這種方式可以提高傳光效率,而且在激活系統(tǒng)中使用更加靈活方便。計(jì)算機(jī)可通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)Cs、O 程控電流源輸出電流值0～10A 之間精確連續(xù)調(diào)節(jié),精度可達(dá)1mA ,并可控制程控電流源的通斷。計(jì)算機(jī)對(duì)光柵單色儀和Cs、O 程控電源的控制是通過(guò)RS232 接口實(shí)現(xiàn)的。

1.2 　GaAs 光電陰極智能激活原理

　　目前被廣為接受的Cs、O 激活方式有兩種:一種是Cs 源連續(xù),O 源斷續(xù)的激活方式;另一種是Cs源和O 源皆斷續(xù)的激活方式。實(shí)驗(yàn)證明,這兩種激活方式的效果沒(méi)有明顯的差別。系統(tǒng)的智能激活程序采用的是操作相對(duì)簡(jiǎn)便的Cs 源連續(xù),O 源斷續(xù)的激活方式。激活過(guò)程中,由白光照射在陰極面上產(chǎn)生的光電子在高壓陽(yáng)極的收集下產(chǎn)生光電流,光電流經(jīng)放大后由計(jì)算機(jī)通過(guò)A/ D 采集卡采集。計(jì)算機(jī)對(duì)光電流的實(shí)時(shí)變化情況進(jìn)行判斷,并在判斷的基礎(chǔ)上通過(guò)智能的自適應(yīng)控制算法來(lái)準(zhǔn)確及時(shí)地控制Cs 源程控電源和O 源程控電源的電流輸出大小及通斷,嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)工藝在GaAs 陰極表面交替覆蓋Cs、O ,有效地避免誤操作,以達(dá)到智能制備高性能GaAs 光電陰極的目的。

1.3、光譜響應(yīng)曲線測(cè)試原理

　　光電陰極的光譜響應(yīng),有時(shí)稱光譜特性,是陰極的光譜靈敏度隨入射光譜的分布。具體來(lái)說(shuō),若照射到陰極面上的單色入射光的輻射功率為W (λ) ,陰極產(chǎn)生的光電流為I (λ) , 則陰極的光譜靈敏度為:

　　將陰極對(duì)應(yīng)入射光譜中每一單色光的光譜靈敏度連成一條曲線,便得到了光譜響應(yīng)曲線。光譜響應(yīng)是光電陰極最重要的特性之一,在微光夜視領(lǐng)域,它是選擇陰極的重要依據(jù)。

2、實(shí)驗(yàn)及分析

　　利用GaAs 光電陰極智能激活系統(tǒng)分別進(jìn)行了智能激活和人工激活實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)采用的是反射式p型GaAs (100) 基片材料,材料的摻雜濃度為1 ×1019cm- 3 ,摻雜元素為Zn。在化學(xué)清洗后,GaAs 樣品被送入超高真空激活系統(tǒng)分別進(jìn)行熱清洗和(Cs ,O)激活。激活過(guò)程中測(cè)試了光電流隨時(shí)間的變化曲線。