用于真空光導入的玻璃觀察窗
2014-09-02 郭方準 實用真空技術
能使光通過且能封閉真空的器件是真空窗口。真空系統中使用最多的是觀察窗，用來監視真空腔體內部的狀態或光源傳輸。觀察窗和鉛玻璃結合使用的情況下，不僅可以做觀察用，還可以遮擋X射線。用在真空系統上的觀察窗要承受約1kgf/cm2的壓強，所以要充分考慮其強度，以免當面積較大時，發生玻璃破損的事故。真空觀察窗的耐烘烤溫度在300℃以內，不可劇烈升溫，最好控制在2～3℃/min。
通常用于超高真空設備的光導入材料有硬質玻璃、藍寶石、石英等。這些材料對于光的透過率如圖1所示。特別是要保證紫外線的透過，而且要檢測真空內發出光的情況下，主要使用藍寶石觀察窗。
不同窗口材料可透過光的波長范圍可參照附圖1。
圖1 不同材料真空觀察窗對不同波長光的透過率
各種觀察窗基本都是采用前面介紹的永久密封方式制作，也有采用橡膠圈密封的可拆卸方式。采用橡膠圈密封的觀察窗，一般用在低真空或高真空腔體上。超高真空系統的進樣室快開門上，也經常使用橡膠圈密封的觀察窗(圖2)。
圖2 觀察窗
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