擴(kuò)散泵
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油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)的污染物來源與消除措施
油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)的最大缺點(diǎn)是油蒸汽的污染。本文講述了油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)中污染物的主要來源以及消除系統(tǒng)油蒸氣返流的具體措施。
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油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)操作注意事項(xiàng)
列出了油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)操作時,人員必須熟悉的幾條油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)操作注意事項(xiàng)。
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油擴(kuò)散泵抽氣速率與被抽氣體的關(guān)系
通過對油擴(kuò)散泵抽氣速率、氣體分子平均熱運(yùn)動速度和分子流態(tài)下氣體流導(dǎo)的分析, 指出油擴(kuò)散泵對不同氣體的抽氣速率具有選擇性, 給出了泵對不同氣體和空氣抽氣速率比值的計(jì)算值, 同時指出電離規(guī)的規(guī)管常數(shù)與氣體種類有
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擴(kuò)散泵的概念以及常見種類
油擴(kuò)散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似,都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣的目的,故有如水蒸汽噴射泵相似的特點(diǎn)。不同點(diǎn)是擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域,其工作壓強(qiáng)范圍為10-2~10-6pa。
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擴(kuò)散泵真空抽氣系統(tǒng)操作存在問題分析
擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)的操作主要應(yīng)注意:降低系統(tǒng)返流、冷阱的操作以及系統(tǒng)的故障保護(hù)問題。
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油擴(kuò)散泵的常見故障及原因
擴(kuò)散泵經(jīng)過長期運(yùn)轉(zhuǎn)及其它一些因素的影響,性能可能會逐漸變壞,現(xiàn)將使用中經(jīng)常出現(xiàn)的一些問題及解決方案講解如下。
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