本文介紹了一套新研制的擴散真空泵性能的自動測試系統。該系統可以按照國家標準規定的方法自動檢測擴散真空泵的極限壓力和抽速。系統利用自主開發的光電液位檢測方法和元件實現滴管液位的自動讀取和記時；利用步進電機驅動針閥實現氣體流量和測試罩內壓力的自動調節；使用上位PC 機和下位單片機的雙級控制系統實現對整個測試系統和測試過程的自動控制。

　　作為應用最廣的高真空抽氣設備，油擴散泵在國內的生產、研究方面已達到相當的技術水平和一定的生產規模，被廣泛應用于機械、電子、冶金、原子能、空間模擬等工業領域和科學技術研究中，為我國的科技發展做出了顯著的貢獻。近幾年來, 國內擴散泵產品從外觀、功能到性能都有了較大的進展。

　　相對于擴散泵的生產企業數量和生產總量來說，國內擴散泵在產品性能檢測方面還相對落后。目前很多企業尚沒有自己的性能測試系統，對泵產品在出廠前的性能指標缺乏實際檢測。國內現有的相關檢測系統都采用全手動操作方式，對操作人員有較高的專業知識和實驗技能要求，需經過專門培訓才能勝任此項工作，而且測試數據精度受許多人為因素的影響，這些都為生產廠家自己獨立開展擴散泵性能測試增加了難度。

　　針對這一現狀，本文研制了一套擴散真空泵性能的自動測試系統。下面將就該系統的測試原理、系統的硬件與軟件構成、研制過程所遇到的技術難點和解決措施作以介紹。

1、自動測試系統的測試原理

　　該套測試系統對擴散泵的極限壓力和不同入口壓力下的抽速曲線的測試原理與方法，完全參照相關國家標準的規定執行。其中擴散泵抽速曲線的自動檢測，采用“定壓法”原理測試。對應每一個測壓點的測試步驟是：在工作閥開啟的條件下，利用針閥調節充入測試罩的氣體流量Q，使測試罩內的平衡壓力p 穩定在預期的壓力值附近；關閉工作閥，依次記錄滴管內液柱到達液位高度h1 和h2 的時間t1 和t2；通過計算液柱凈升高度h=h2- h1 和上升所需時間t=(t2- t1)，利用下式求得對應壓力下的體積流率，即抽速。

式中S———被測真空泵抽氣速率，L/s
　　Q———流過泵口的氣體流量，Pa·L/s
　　p———測試罩內規定位置的平衡壓力，Pa
　　h———滴管內液柱上升凈高度，mm
　　t———滴管內液柱上升所需時間，s
　　K———滴管函數，Pa·L/mm。

　　根據上述公式可知：要想計算出抽速S，需要已知對應測壓點的K、h、p 和t。其中，滴管函數K可以根據不同的滴管和連接管道尺寸，結合實際的測試工況事先計算出來；因此，實際需要讀取的只有測試罩指定位置平衡壓力p、滴管內液柱凈升高度h 和液柱凈升高度h 所需時間t 三個量。該套測試系統所具有的自動測試功能，主要是指工作閥采用電磁閥自動開啟關閉；針閥完成流量調節的過程采用步進電機驅動，并根據罩內實測壓力與預設壓力的對比進行反饋控制；利用光電液位開關測定滴管內液位到達設定位置h1和h2 高度處的時間t1 和t2。整個測試過程，以及之后的抽速計算、結果輸出工作，均由計算機自動控制完成，只是在更換滴管和連接管路的過程中需要操作人員手工作業。

2、自動測試系統的硬件構成

2.1、機械部分構成

　　該測試系統機械部分的主體設計方案基于國家標準的詳細規定。其結構如圖1 所示，主要由測試罩、提升機構、前級閥、預抽閥、工作閥、放氣閥、微調閥、滴管、光電液位開關、貯液槽、臺車和真空管路等組成，被測主泵為K- 200 型油擴散泵，前級為2X- 4 型旋片泵。

　　考慮到該實驗臺的主要用途是服務于東北大學過程裝備與控制工程專業本科生的真空實驗教學，所以在結構和功能上有所改動、擴展。對應K- 200 型油擴散泵，本應選用直徑為200 mm的測試罩，但考慮其它教學實驗用途，本系統使用了直徑為400 mm 的測試罩，中間加裝錐形過渡接口和插板閥與被測擴散泵相連。這些會導致管道流導的增加，從而使泵的抽速測定值降低，但不影響測試系統的工作原理和使用方法。在測試罩上還留有兩個真空規管接口、一個前級閥接口、一個微調閥進氣口、頂端留有放氣口，以及連接其他真空測試儀器的兩個備用接口。提升機構可以將測試罩提起，方便主泵的更換和其它教學實驗的完成。考慮到要實現自動控制，所有的閥門均選擇電磁驅動。此外，根據實驗需要，還專門訂制了內徑分別為1.5、3、5、10、20、30、50 mm 的一系列滴管。

1.臺車　2.貯液槽　3.變壓器油　4.光電液位開關　5.滴管支架　6.工作閥　7.滴管　8.真空管　9. 針閥　10. 提升機構　11. 步進電機　12.測試罩　13.放氣閥　14.電離規　15.電阻規　16.預抽閥　17. 波紋管　18 . 錐形過渡接口　19 . 插板閥　20 . 前級閥　21 . 擴散泵　22.電磁帶充氣閥　23.旋片泵

圖1 擴散真空泵性能自動測試實驗臺示意圖

2.2、測試與控制系統構成

　　本套測試系統需要驅動和控制的對象如表1 所示。

表1 控制對象列表

　　本套測試系統所用的傳感與測試元件如表2所示。

表2 傳感與測試元件列表

　　本套測試系統使用上位PC 機和下位單片機的雙級控制系統實現對整個測試系統和測試過程的自動控制。上位機使用有2 路RS- 232 接口的普通臺式或筆記本式PC 機即可； 下位機是C8051F005 單片機；數字微機型數顯復合真空計采集的壓強信號，通過RS- 232 接口直接與上位機通信；自主研發的光電式液位傳感器在滴管中液位達到設定高度時輸出5 V 電壓，這一開關量信號經過光耦傳入單片機。單片機輸出的開關量信號通過三級繼電器逐級增強電壓的方法控制擴散泵、旋片泵和提升電機的動作。單片機還和步進電機驅動器通信，實現步進電機的控制。上位機接受來自下位機和數據采集系統的信號，通過控制軟件向下位機發送操作指令，并自動處理采集的試驗數據、計算結果、自動生成表格、自動繪制試驗產品的性能曲線、自動生成試驗報告并可對試驗報告進行編輯、修改和打印輸出；本套測試系統的控制數據流如圖2 所示。

圖2 自動測試系統控制流程示意圖

3、自動測試系統的控制軟件

　　本套自動測試控制系統的控制軟件是在Windows 環境下，采用Visual Basic6.0 語言編譯而成。測試系統控制軟件由主界面、測試管理系統界面和數據管理系統界面三部分組成，具體關系見圖3。

圖3 自動測試系統控制軟件結構圖

　　在測試管理系統界面下，待測產品信息設定模塊包括待測擴散泵信息選擇、測試員信息選擇、新產品信息錄入和測壓點選擇。系統抽放氣控制模塊可以完成對系統抽氣和放氣過程的自動控制，如圖4 所示，實時顯示測試罩內壓強。極限壓力與抽速測試控制模塊是整個系統的核心部分，可以自動完成測壓點的確定和指導滴管的選取，完成該測壓點的壓強調節，最終完成該測壓點抽速的測試，并將測試結果保存到數據庫中。測試曲線預覽和產品性能報表打印兩個模塊完成抽速曲線的自動繪制，并且可以通過打印機輸出。

　　數據管理系統可以完成用戶信息，測試人員信息的設定和修改，例如用戶名和密碼，測試員姓名等。擴散泵的型號、生產廠家及生產日期等被測產品信息也可以通過該部分進行輸入、修改、查詢和輸出。該數據管理系統也可以保存已經測試過的擴散泵抽速曲線，并可以隨時輸出。

圖4 系統抽放氣控制界面

4、技術難點和解決措施

　　在一年多的研制過程中，遇到了很多困難，也走了很多彎路，現將主要的技術難點和解決措施總結如下：

4.1、液位傳感器的選擇

　　按照國標規定，所選取的滴管最小內徑為1.5 mm 和3 mm，而且實驗中這兩種滴管使用得非常頻繁；管內的測試液體則是透明度很好的變壓器油。研制過程中遇到的首要困難就是：目前尚沒有適合本系統使用、能夠實現透明微細液柱非接觸式高精度液位測試的液位開關。在近半年多方尋求無果的情況下，我們自主開發了一種光纖式光電液位開關，成功地解決了這一難題。不僅滿足了本測試系統的工作要求，還單獨申報了國家發明專利。

　　光電液位開關在本系統中的使用方法是：確定對任一滴管和任一測壓點，都選定相同的液位高度h=h2- h1。分別在滴管h2 和h1 高度處安裝了上、下液位開關，當液位上升至h1 處時，下液位開關向單片機輸出一個信號，開始記時；當液位開關升至h2 處時，上液位開關也向單片機輸出一個信號，記時結束并記錄時間間隔。

4.2、微調閥的控制

　　在兩個不同測壓點之間進行轉換時，需要利用微調閥來調節氣流量，控制測試罩內的壓力到達新的測壓點。最初始的控制方案是采用電控壓電閥進行氣體流量的控制調節，具有簡單易行的優點，但考慮壓電閥可能存在有電壓漂移和時間漂移等不可預知的誤差因素，因此放棄了這一方案。最終確定仍然采用流量穩定的機械針閥作為調節元件，并利用步進電機經減速機構驅動針閥。其中步進電機型號為42HS03，驅動器型號為M415- 64/M515。驅動器上的光隔電源端，脈沖信號端，方向信號端和電機使能端分別與單片機相連，并且可以通過上位機的控制軟件修改電機的步進參數，達到調節氣流量的要求。

　　系統調試過程中還發現，利用步進電機驅動針閥，受轉動力矩的限制，無法像手工作業那樣將針閥完全關閉，從而為測試泵的極限壓力帶來誤差。后來在微調針閥與測試罩充氣口之間加裝了一個高真空電磁閥，在測泵的極限壓力時關閉此閥，解決了這一問題。

5、結束語

　　本文介紹了一套新研制的擴散真空泵性能自動測試系統。借助操作人員手工作業更換滴管和連接管路，該系統能夠自動完成擴散真空泵的極限壓力和抽速曲線的連續測試。圖5 是該系統的實物照片圖。該系統的應用，能夠大大降低對測試人員所必須具備的專業知識和實驗技能的要求，減輕操作人員的勞動強度，提高測試精度和可靠性，有利于生產企業自主開展擴散泵產品性能的實際測試檢驗。

圖5 擴散真空泵性能自動測試系統的實物照片圖

　　今后，將對該測試系統做進一步的改進，使其更能夠適應企業的實際需求，操作更為簡單和人性化。同時擴展開發出更多功能，例如：在被測擴散泵出口管路處再加設一套由步進電機驅動的微調針閥和相應的真空計，就能夠測試擴散泵的臨界前級壓力；在測試罩上安裝相應的盛液管，也可以測試擴散泵的返油率；從而實現對擴散泵性能的全面測試。