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渦輪分子泵特性及磁懸浮技術的應用
介紹了渦輪分子泵的工作原理與基本結構特征,重點闡述了牽引式、渦輪式與復合式三種分子泵的結構、材料與性能特征,最后給出了基于磁懸浮技術的高轉速渦輪分子泵承載力計算方法。
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分子泵機組控制系統的設計
激光束在到達濾波器小孔位置時會發生空氣擊穿,因此管道內必須達到一定的高真空,通過對選用的分子泵機組內部控制電路的研究分析,設計了一套控制方案,很好地滿足了空間濾波器特定的使用要求。
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真空泵的工作原理
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