渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項(xiàng)

　　（1） 不能在前級(jí)泵工作時(shí)（前級(jí)管道接通） 和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸汽迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端。

　　（2） 分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣。

　　（3）選擇抽氣系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下。

　　（4）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　（5）分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。

渦輪分子泵系統(tǒng)常見故障及排除

　　渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)的常見故障及排除方法見表1。

表1 渦輪分子泵系統(tǒng)常見故障及排除方法