1、羅茨泵噪聲過大的問題及噪聲源定位方法

　　氣冷式直排大氣羅茨真空機組在安裝好之后工作的噪聲很大。但是究竟是哪一個部位的噪聲貢獻(xiàn)值較大，且在什么情況下噪聲值較大，真空技術(shù)網(wǎng)(www.chvacum.com)認(rèn)為這都是需要解決的問題。故需要對此真空機組進(jìn)行噪聲源定位研究。

　　該真空機組噪聲源定位采用聲壓法并逐級定位的方法。先用聲級計測出各測點處的聲壓值，再根據(jù)各測點的聲壓值的大小以及其在真空機組上對應(yīng)的相對部位來確定機組各部位對機組噪聲貢獻(xiàn)大小，并進(jìn)行排列，找出噪聲貢獻(xiàn)較大部位，對該部位的各組件再進(jìn)行聲壓測試，從而確定噪聲值較大部位。

2、噪聲測試原理

　　本測試的儀器設(shè)備采用手持式精密噪聲分析儀，該分析儀具有簡單易用、安全可靠、智能化、測量精度高和性能優(yōu)良等優(yōu)點。原理框圖見圖2。

圖2 測量原理圖

　　真空機組產(chǎn)生的噪聲由傳聲器接收，并將聲音信號轉(zhuǎn)化為電信號。電信號經(jīng)過放大與濾波得到信號大小與成分適當(dāng)?shù)哪�擬信號，該模擬信號需要經(jīng)過A/D 轉(zhuǎn)換才能得到相應(yīng)的數(shù)字信號，并在計算機中用相應(yīng)的軟件進(jìn)行分析便可得到機組噪聲的頻譜等。

3、羅茨泵機組噪聲測點布置及測試條件

　　測量前，應(yīng)該按照圖1 對機組周圍布置測點，共有18 個測點。其中，有十個測點分布在五臺泵的兩側(cè)，有三個測點分布在進(jìn)氣口處，另有三個測點分布在消聲器背面。

　　測試條件為分別在真空度為0.1 Pa、1 Pa、5 Pa、23.7 Pa、94 Pa、1000 Pa、5000 Pa、8000 Pa、11000 Pa、25000 Pa 和80000 Pa 對18 個測點進(jìn)行噪聲測試，測試時手持式分析儀距離機組和地面都為1.5 m。同時，背景噪聲為37.6 dB。