北京科儀分子泵產品常見故障及解決方法集錦
2019-10-05 真空技術網 真空技術網整理
分子泵產品常見故障
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序號
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現象/問題
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故障原因
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解決意見
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1
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110泵的電機定子在什么使用條件下會頻繁損壞？
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1.過熱
2.過載
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1.檢查冷卻系
2.檢查真空系統
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2
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用戶處出現碎泵，經我們檢查，發現泵內又大塊的碎玻璃，用戶問有防護網保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內？
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1. 防護網破裂
2. 前級管道破裂
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優化系統設計
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3
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分子泵為何會發生半邊熱，半邊冷的現象？
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1.附近有光照或其他熱源
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避免光照或熱源
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4
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正常使用中，3500分子泵油池為何會變形或者碎裂？
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1. 冷卻不良
2. 負載太大
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檢查冷卻系統
檢查真空系統
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5
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系統無漏、真空計、規管都無問題的情況下，為什么真空度只能抽到-1或-2帕？
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1. 系統設計不合理
2. 系統內放氣量太大
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優化系統設計
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6
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分子泵使用中發現油發黑，請問油為什么發黑？或者多長時間油才會變黑？
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1.冷卻不良
2.負載太大
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檢查冷卻系統
檢查真空系統
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7
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3500泵為何不能吊裝？其他泵是否也有不能吊裝的要求？
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自身太重，其他泵可以吊裝
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加支撐
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8
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膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？
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不作特殊限定，至少3個，
按照法蘭大小可選3、6、12、24等
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9
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用戶處出現碎泵，我們給出結論為用戶使用不當，但用戶反問，此系統為國外設計，并使用多年，一直未出現故障，為何剛剛換上我們的分子泵，就出現碎泵？
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1. 偶然現象，沒有代表性
2. 分體轉子抗沖擊性稍差
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避免大氣沖擊
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10
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分子泵電源的輸入電壓為220V，且在廠進行過調試，為何還會發生反轉現象？
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1.電纜接錯
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調換電纜的線序或更換電纜
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用戶發現分子泵油變少，再加油后沒幾天，油再次變少，分子泵返廠后，經檢查，前級口和分子泵內均未發現有油，請問分子泵油到哪去了？為什么會出現此現象？
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這種現象目前無法解釋，再遇到后再研究吧
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分子泵在運轉過程中，出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現象仍如此，請問該現象如何解釋？
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負載太大，系統真空度不夠
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檢查系統
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13
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分子泵正常運轉過程中，可充入的最大氣載為多少？充入-1Pa的氬氣是否可以？如可以，為何充氣后發生分子泵自動停機，且無法再次啟動的現象？而分子泵取下，用手撥動葉片后，又可再次啟動，充氣后現象重復。
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這取決于充氣的時間，不能一概而論，所描述的情況是分子泵的熱保護器作用。
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分子泵前級真空可以抽到10Pa以下，但是分子泵，只能啟動到60Hz左右，之后回0重啟，反復后報E014故障，而分子泵未卡死或碎泵，請問分子泵為何無法啟動到正常
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1. 市網電壓低
2. 電纜過長
3. 分子泵負載大
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1. 用調壓器
2. 盡可能縮短電纜
3. 檢查系統
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軸承為什么會燒毀
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1. 缺乏定期維護
2. 冷卻不良導致過熱
3. 沒有及時換油
4. 抽除的氣體中含有大量粉塵
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1及時維護
2.檢查冷卻系
3.及時換油
4.隔離粉塵
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變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？
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1. 電壓不穩
2. 強干擾
3. 高壓打火
4. 認為解密
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正常使用下，為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形
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1. 過熱
2. 負載大
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1. 檢查冷卻系
2. 檢查系統
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110A電源報“3412”故障是什么意思？是否能現場解決？
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干擾造成亂碼
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關機后重啟動
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為什么110分子泵用110A電源可以啟動，但是用110電源就無法啟動？
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霍爾壞一個
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返廠維修
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變頻器電源空載無問題，帶泵就會報警時什么問題？為什么更換變頻器后，在我公司帶泵無問題，而到用戶處就繼續報警？前提是分子泵完好。
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需要看故障碼，并到現場查看
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變頻器電源，轉速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？
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電壓低
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分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？
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小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要專用儀器和特定的測試環境
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分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現何后果？
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注意水溫和水流量，詳見說明書，冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。
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真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？
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1.油池破裂或密封不良
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檢查油池
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具體什么情況下會造成分子泵碎泵？除了這些情況外是否不會造成碎泵？
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1. 異物掉入
2. 負載太大
3. 冷卻不良
4. 前級壓力高
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1. 做好屏蔽
2. 檢查系統
3. 檢查冷卻系
4. 檢查前級及管道
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分子泵橫裝是否會降低使用壽命？
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理論上不會
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分子泵是否可以自行進行保養？如可以需怎樣保養？返廠進行保養的最佳周期是多長時間？
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不可以，平時注意查看分子泵的運行狀態，發現噪聲增大或震動加大應立即返廠
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分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是最佳方式？
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電源本身有接地線，只需要保證市網有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。
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分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？
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應是偶爾發生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。
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加強裝配過程管理
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用戶放映分子泵油的量過少，請問將我公司提供的100ml分子泵油完全加入是否是正常油量？即加這些油是否會對分子泵的正常使用產生負面影響？
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以后不存在此問題
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