渦旋真空泵的工作原理、結構特點及應用領域
清潔、無油一直是科學界和產業界追求的理想真空環境。隨著真空無油環境的應用日益廣泛, 人們從未中斷以不同手段實現清潔、無油真空的努力，而真空泵的無油化對獲得清潔、無油真空環境至關重要。本文向讀者介紹一種具有發展潛力的無油真空泵——渦旋真空泵。
1、渦旋真空泵的工作原理
渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤付嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉機構保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構成了無油渦旋真空泵的抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線(在橫截面上是幾個點)上接觸形成幾對月牙形封閉腔，動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，接觸點沿渦旋曲面移動實現吸氣、壓縮與排氣。曲軸每轉一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，所以渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環在電機的帶動下被連續重復,對被抽氣體形成包容和強制輸送。
圖1 渦旋盤副 圖2 結構簡圖
2、渦旋真空泵的結構特點
渦旋真空泵主要由5 個部件組成：
（1）動靜渦旋盤副與基座；一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯, 兩者之間保證180°相位差組成的一對渦旋盤副機構。
（2）曲軸：保證動渦旋盤繞靜渦旋盤轉動的偏心機構。
（3）密封件：保證動、靜盤的端面齒頂密封等的密封裝置。
（4） 防自轉機構：保證動、靜盤180°相位差的機構。
（5）電機：輸出約1500r/min的動力機構。
它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結構簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無需水冷。
渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內具有穩定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續的，因而驅動扭矩變化小，功率變化小,振動噪聲低，這是其它類型的干式真空泵所不具備的。
3、渦旋真空泵的應用領域
渦旋泵已被廣泛應用于半導體行業：薄膜制造設備、半導體器件封裝設備�？茖W儀器行業：同步輻射光束線機、電子顯微鏡、極光試驗設備、分析測試儀器。機械設備行業：材料制備設備、真空檢測、材料提純設備、超高真空排氣設備。醫療設備行業：牙科儀器、透析機、生物制備與藥品制備。包裝行業：食品、藥品、生物制品包裝設備等領域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統的最佳配置。
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