羅茨型真空泵的工作原理和構造, 基本上和羅茨鼓風機相似。這種工作原理很早就被真空泵應用了。普通的單級和雙級羅茨泵做為油封式機械泵的增壓泵使用居多, 故稱為機械增壓泵。

圖1　三段羅茨真空泵

         而現在干式羅茨泵是直接排大氣的, 在一根軸上安有3～5級的羅茨型轉子, 如圖1 所示, 它為三級羅茨泵的構造, 各級轉子由中間壁來隔離, 形成各級的泵腔,上一級的排氣口連到下一級的進氣口,各級串聯應用,各級轉子的直徑和形狀是相同的, 而各級轉子的寬度有時是不同的, 向高壓側方向變窄了。為了增加壓縮比, 使用圖2 所示的氣冷式三葉轉子,但抽速不如兩葉轉子為好。

圖2　三葉羅茨泵的抽氣原理

           這種泵的無油程度和爪型、螺桿型的干式泵基本相同,為了防止軸承和齒輪的潤滑油向泵腔內返流, 多級羅茨泵的泵腔和齒輪箱之間隔開或用迷宮式結構加以密封,為了提高無油的程度,齒輪箱也有另外用真空泵排氣的情況。3～6級的羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力1Pa,高壓段有用氣冷轉子的結構,已有抽速為60～500m³/h 的系列產品出售。