真空系統要求獲得并保持真空狀態，如果存在嚴重的漏氣則是系統的重大缺陷，那么就需要進行相關的真空檢漏。

　　透氣和漏氣的本質不同。透氣是氣體從密度大的一側向密度小的一側滲入、擴散、通過和逸出的過程，任何材料都有一定的滲透率。漏氣是由于材料本身的缺陷或封口部不良，導致氣體分子從高壓側流向低壓側的現象。還有一種情況是常溫下不發生漏氣，但溫度變化時由熱膨脹系數的差異也可能導致漏氣。圖1是影響系統真空度的氣體來源示意圖。

圖1 影響系統真空度的氣體來源示意圖

　　嚴格地講，任何真空系統都有漏氣現象存在，漏氣是絕對的。針對不同的真空系統，可以容許有一定的漏率。目前的真空技術，可以確保超高真空系統的容許漏率≤1.33×10 ^-11 Pa.m³/s。

　　真空檢漏已經成為真空系統制作和使用中不可缺少的環節。真空檢漏的方法多種多樣，最具代表性的氦質譜檢漏和四極質譜儀殘留氣體分析。

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