氦質譜檢漏方法比較多,根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。

測定漏點型

      確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛星、導彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。

噴氦法

      這是最常用的一種方法,一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴槍噴氦,如圖4所示,如果被檢器件某處有漏孔,當氦噴到漏孔上時,氦氣立即會被吸入到真空系統,從而擴散到質譜室中,氦質譜檢漏儀的輸出就會立即有響應,使用這種方法應注意:氦氣是較輕的惰性氣體,在噴出后會自動上升,為了準確的在漏孔位置噴氦,噴氦時應自上而下,由近至遠(相對檢漏儀位置) ,這是因為在噴下方時氦氣有可能被上方漏孔吸入,就很難確定漏孔的位置;再者漏孔離質譜室的距離檢漏儀反應時間也不同,所以噴氦應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠來進行。

　　在檢測較大部件時要借助機械泵進行真空預抽,就可以提高檢漏效率和時間,如圖5所示,噴氦法在檢查那些結構比較復雜的,密封口和焊縫又比較多而且擠在一起的小容器時,由于氦噴出后會很快擴散開來,往往不容易準確地確定漏隙所在的部位,要采取從不同角度噴氦,仔細觀察反應時間上的差別和將已發現的漏孔用真空封泥暫時封起來等辦法,就可以把漏孔逐個檢出。

吸氦法

       吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如導彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節省用氦量,可以用低濃度氦氣),在氦質譜檢漏儀的進氣法蘭處接上橡皮管,橡皮管的前端有直徑很小的毛細管,使毛細管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動,如果該容器有漏隙,經漏隙滲出的氦會被毛細管吸入,檢漏儀就會響應。

圖4 　噴氦法檢漏示意圖

圖5 　輔助機械泵檢漏示意圖

測定漏率型

圖6 　吸氦法檢漏示意圖

       測定漏率型主要是針對密封性要求嚴格的部件進行檢測,如宇宙飛船、火箭液體燃料儲料箱、衛星、電子元器件等。這種方法只能測試試件的漏率,無法確定漏孔的位置和漏孔的個數。

充氦法

      充氦法也稱負壓法,如圖7所示,一個密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐,將被檢零件裝入一個氣室,開始關閉氦氣罐閥門,機械泵把氣室先抽成真空,然后關閉真空泵閥門,打開氦氣罐閥門給氣室充氦,并靜置一段時間。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙,氦氣就慢慢充入小器件內部。然后將氣室打開,取出被檢器件,用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。

圖7 　給檢驗試件充氦氣

圖8 　用檢漏儀檢驗試件漏率

       再把這些器件逐個(或成組)地裝入接在檢漏儀進氣法蘭處的容器中,把此容器抽空后打開節流閥,這時原先進入被檢器件的氦又會經過漏孔放出來,檢漏儀就會給出漏率響應。如果采用ZHP230氦質譜檢漏儀,儀器可以直接給出漏率的數字顯示。衛星的整體檢漏就是可以用這種方法,如圖9所示,將衛星放入大型環模室中,利用環模設備的真空系統將環模抽成真空,先用輔泵進行粗抽和預抽,在檢漏時先通過機械泵將衛星及充氣管道抽成真空后,將氦氣充入衛星中,壓力保持和衛星工作的壓力一致,最后開啟氦質譜檢漏儀用標準漏孔校準儀器,就可以直接測量衛星的漏率了。