GB/T 19956.1-2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量
GB/T 19956.1—2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量
Positive-displacement vacuum pumps—Measurement of performance characteristics—Part 1:Measurement of volume rate of flow(pumping speed)
(ISO 1607-1:1993,IDT)
GB/T 19956《容積真空泵性能測量方法》分為兩個(gè)部分:
第一部分:體積流率(抽速)的測量
第二部分:極限壓力的測量
本部分為GB/T 19956的第一部分。
本部分等同采用ISO 1607-1:1993《容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》。
本部分代替JB/T 7266-1994《容積真空泵性能測量方法》。
一、范圍
GB/T 19956的本部分規(guī)定了容積真空泵體積流率測量方法,所研究的泵是直排大氣的并且單級獲得低于100Pa的入口極限壓力。
二、術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于GB/T 19956的本部分。
2.1、體積流率(抽速) volume rate of flow (pumping speed)
在理想狀態(tài)下,單位時(shí)間內(nèi)流經(jīng)泵入口的氣體體積。
但在實(shí)際上,一個(gè)給定泵在規(guī)定條件下工作,對給定氣體的體積流率(S)取該氣體的流量(Q)與在給定測試罩內(nèi)規(guī)定位置的平衡壓力(P)的商。即:
S=Q/P
體積流率采用的單位為立方米每小時(shí)(m3/h)或升每秒(L/S)
2.2、測試罩 test dome
是裝在泵入口具有規(guī)定形狀和尺寸的容器,被測量的氣體通過它進(jìn)入泵內(nèi),其上裝有壓力測量裝置。
2.3、極限壓力 ultimate pressure
泵在正常工作情況下,關(guān)閉進(jìn)氣閥門,測試罩趨向的最低壓力。
三、裝置
3.1、測試罩
如圖所示,形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D,D為罩的內(nèi)徑。實(shí)驗(yàn)氣體進(jìn)口在罩的軸線上,并與連接法蘭的距離為D,進(jìn)氣口的排列應(yīng)使氣體自背離泵口的方向進(jìn)入測試罩。測量入口壓力和極限壓力的真空計(jì)在距離連接法蘭0.5D處,其軸線垂直于罩的軸線。測試罩的軸線應(yīng)垂直于泵入口法蘭平面。
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GB/T 19956.1-2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量