石英真空脫羥爐是金鹵燈用石英玻璃脫羥工藝的關鍵設備。分析了石英脫羥爐的核心部件加熱器、隔熱屏的設計思路，根據計算功率進行了加熱器的設計計算和校核；闡述了抽真空系統和快速冷卻系統的設計思路等。結合現代CAD技術，進行三維建模，可以大大提高設計效率和保證設計一次成功率，通過實踐檢驗，能夠達到設計的各項指標，完全可以滿足石英玻璃脫羥工藝的要求。

　　石英玻璃光譜特性優良，從短波紫外區、可見光區到紅外區的寬波段范圍內透光性極好，同時耐高溫(使用溫度達1100℃以上)，線脹系數小，化學穩定性高；石英玻璃加入鈰、鈦等元素制成電光源，可將危害人體健康的短波紫外線過濾掉；石英玻璃制成激光燈可使激光器使用壽命大大延長。石英玻璃具有很多優良的光學性能，從而使其成為新型電光源的最佳材料。隨著電光源工業的要求越來越高，對優質石英玻璃的需求量越來越大。

　　在要求最高的金鹵燈用石英玻璃中，對羥基的含量要求極為苛刻。羥基會破壞鹵鎢循環，嚴重影響燈的質量和使用壽命；在光導纖維中羥基將影響光損耗，因此羥基在石英玻璃中是一項有害雜質。金鹵燈用低羥基管要求羥基含量為1×10^-6~5×10^-6，脫羥基工藝要求非常嚴格。石英玻璃中的羥基穩定性很高，脫羥非常困難。石英脫羥有多種方式，目前真空脫羥是金鹵燈用低羥基石英管必須的一種脫羥方式。真空脫羥工藝需要在高真空狀態下長時間的保持高溫(約1050℃)，以使羥基順利脫出。為保證細長石英管質量均勻性，還要保持良好的溫度均勻性，對于大型的設備來說難度很大。大型爐尺寸很大，高溫真空狀態下部件的剛度、強度、變形、耐用等都要充分考慮，同時要考慮生產成本問題，一臺成本合適的高性能石英脫羥爐是保證脫羥工藝質量的前提。

1、石英脫羥爐的設計計算和三維建模

　　1.1、任務分析

　　根據石英玻璃的脫羥基工藝和工件的要求，脫羥爐的相關技術參數如下：

　　有效空間：800mm×800mm×3300mm；最高溫度：1150℃；工作溫度：1050℃；真空度：2×10^-2Pa；溫區均勻性：±4℃；升溫時間：按2.5h計算。

　　此設備屬于大型的石英真空脫羥爐，爐體容積高達9000L，每爐處理工件重量高達600kg，爐內可同時放兩個1500mm長的托料盤，可以加熱長1500mm的細長石英管。

　　根據脫羥工藝的要求需要保持高溫、高真空狀態。脫羥工作溫度1050℃可以正常實現，真空度達10^-4Pa數量級最佳，此爐體容積大，綜合考慮真空泵的抽真空能力和成本，經協商降低真空度指標為2×10^-2Pa，靠增長脫羥時間達到脫羥要求，保溫十幾個小時使羥基充分擴散。大容量的工作空間極大的提高了石英管的熱處理效率，但是溫區內需要保持高溫度均勻性，以保證細長石英管各處的質量均勻性，在布置加熱器時要充分考慮，以免溫度均勻性差影響產品質量。

　　考慮裝卸方便性，采取雙爐門打開結構，兩端進出料。設計時要綜合考慮以上要求，采用傳統的設計方法和現代CAD技術相結合來提高設計效率和準確性。

　　1.2、加熱器設計

　　1.2.1、加熱器結構布置

　　加熱器和隔熱屏是爐體的核心部件，高溫變形問題是需要重點考慮的問題，也是研發難點。本設備高溫保溫時間較長，隔熱屏摒棄易變形的金屬材料，采用方形石墨反射屏；除爐體上下左右裝有加熱器外，增加前后爐門兩個加熱器，共分三個加熱區六面加熱，保證溫度均勻性和長久高溫工作。加熱器布置采用三組三相加熱，采用三角形接法，石墨板拼接結構，如下圖1所示。

圖1 加熱器的布置形式　圖2 石英脫羥爐的三維模型

　　1.2.2、確定隔熱屏尺寸

　　隔熱屏是保溫的重要屏障，其與爐體內壁、加熱器的距離直接影響工作區間的溫度均勻性，有效空間：800mm×800mm×3300mm，根據布置確定隔熱屏內尺寸：1100mm×1200mm×3650mm。

　　1.2.3、確定總加熱功率

　　計算爐膛表面積：S=19.4m²。根據表面負荷法，按最高爐溫1150℃，布置功率約20kW/m²，計算總加熱功率：P=20×19.4=388kW。

　　1.2.4、校核加熱器

　　選取設計功率387kW，校核加熱器。加熱器采用三組三相三角形接法，每相功率為43kW，電極石墨的電阻系數為9Ω·mm2/m。爐體單根加熱器長7980mm，則R≈0.0798Ω。計算工作電壓：

　　表面負荷計算：W=2.7W/cm²遠遠低于石墨材料的許用表面負荷值40W/cm2～60W/cm²。經校驗加熱器符合要求。

　　1.3、真空系統和快冷系統設置

　　爐體容積大，石墨材料較金屬材料放氣量大很多，對抽真空時間和真空度指標影響很大，可采用高溫烘烤除氣；抽真空系統采用大口徑擴散泵，為了防止擴散泵返油現象，考慮在泵口加低溫冷阱，有效阻止油蒸汽進入爐體。

　　石墨隔熱屏保溫效果好，冷卻很慢，為了降低單爐生產時間，需要設置一套外循環式快冷風機系統，注意風道的設置，使冷風能夠正常循環提高冷卻效果，注意隔熱屏進風噴嘴的位置，使工件能迅速均勻冷卻，提高冷卻的效率。

　　1.4、三維建模

　　將復雜的真空爐設計方案做好后分為幾個主要部分進行設計，主要有爐體、爐蓋、加熱器、真空系統、水冷系統、風機系統等，然后裝配仿真，并對重要部位進行力學分析，以保證系統的強度。圖2為石英脫羥爐的三維模型(本例用solidworks建模)，并且一些部件已經實現了標準化，例如真空系統，極大提高了設計開發效率。

2、石英脫羥爐實際溫度均勻性測試

　　圖3為制造完成的石英脫羥爐爐體內部照片，采用九點測量爐內溫區實際溫度均勻性，示意圖如圖4。

　　在910℃保溫的情況下測得九點的溫度如表1所示。

圖3 石英脫羥爐爐體內部照片　圖4 爐內溫區實際溫度均勻性測量示意圖

表1 910℃保溫時測得九點的溫度

　　最高最低溫度差異為5℃，完全滿足溫區均勻性±4℃的要求。

3、結論

　　對于大型石英脫羥爐的設計要求進行了分析，闡述了設計時應重點考慮的問題。實行三個加熱區六面加熱全面控制爐體溫度，達到溫度均勻性的要求；對于其核心的加熱器、隔熱屏闡述了設計的思路和方法，對加熱器進行了可行的布置和設計計算；對抽真空系統和快速冷卻循環系統闡述了設計需要考慮的問題。結合現代CAD技術，建成了三維模型，不僅可以大大提高設計效率，而且保證設計一次成功率，通過實踐測試可以達到預定指標，完全可以滿足石英玻璃脫羥工藝的要求。