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超高/極高真空測量發展綜述
介紹了熱陰極電離規和冷陰極電離規的研究進展、新型室溫電子源和真空的激光電離測量技術在超高/極高真空測量中的應用、小型化超高/極高真空電離規的發展以及我國在超高/極高真空測量方面的研究進展。
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恒壓式氣體微流量計的性能測試
介紹了恒壓式氣體微流量計的組成及性能實驗。實驗結果表明,氣體流量的測量范圍為(.96×10-9 to4.76×10-4)Pa·m3 / s,不確定度小于4%。標準漏孔的校準結果與德國PTB 校準結果的一致性好于1.3%。
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一種方便高效的真空規校準裝置的設計
講述了為解決一般采用比對法校準真空規的裝置所存在的一次校準真空規數量較少,且由于校準表和被校表處在不同的抽空位置造成的讀數誤差等問題,所設計出的一套方便高效的真空規校準裝置。
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靜態膨脹法真空標準校準下限延伸方法研究
影響靜態膨脹法真空標準校準下限的主要因素是器壁放氣,本文提出了使用非蒸散型吸氣劑泵(NEGP) 消除器壁放氣影響來延伸校準下限的方法。這種方法將靜態膨脹法真空標準校準能力的下限延伸到了10-7Pa 量級。
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