彈性元件真空計的結構與測量原理

2020-05-06 真空技術網 真空技術網整理

　　利用彈性元件在壓差作用下產生彈性變形的原理制成的真空測量儀表稱為彈性元件真空表。在結構和外形上與工業用壓力表類似，一般用于粗真空(102～105Pa)的測量。根據變形彈性元件分類，這類真空計通常有彈簧管式、膜盒式和膜片式，其結構如圖3所示。

彈性元件真空表結構示意圖

圖3：彈性元件真空表結構示意圖

　　彈性元件真空表性能穩定，其測量范圍一般為102～105Pa，精度有0.5級、1.5級和2.5級數種。

　　在工業生產中有些設備需要既測量正壓(高于一個大氣壓)，也要測量負壓(低于一個大氣壓，即真空狀態)，因此制成的彈性元件壓力真空表，在同一條表盤刻度上同時刻有正壓力和真空度。

　　彈性元件真空表的主要特點如下：

　　1、測量結果是氣體和蒸氣的全壓力，并與氣體種類、成分及其性質無關;

　　2、測量過程中，儀表的吸氣和放氣很小，同時儀表內部沒有高溫部件，不會使油蒸氣分解;

　　3、測量精度較高;

　　4、反應速度較快;

　　5、結構牢固，選用適當材料能測量腐蝕性氣體;

　　6、是絕對真空計，0.5級以上的表可作為標準表。

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