冷陰極電離真空計(jì)非線性校準(zhǔn)方法研究

2013-04-02 劉珈彤 蘭州空間技術(shù)物理研究所

冷陰極電離真空計(jì)非線性校準(zhǔn)方法研究

劉珈彤，趙瀾，李莉，劉賜賢，馬奔

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：主要介紹了冷陰極電離真空計(jì)結(jié)構(gòu)、工作原理及冷陰極電離真空計(jì)的校準(zhǔn)方法和校準(zhǔn)裝置，并對(duì)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了處理。由于冷陰極電離真空計(jì)為非線性真空計(jì)，通過(guò)比較，校準(zhǔn)結(jié)果采用了校準(zhǔn)曲線的方式，可提高校準(zhǔn)的準(zhǔn)確度，減小校準(zhǔn)不確定度，保證真空測(cè)量的可靠性。

　　關(guān)鍵詞：冷陰極電離真空計(jì);校準(zhǔn)方法;校準(zhǔn)裝置;不確定度;校準(zhǔn)曲線