由于擴(kuò)散泵和油增壓泵起動(dòng)時(shí)間長(zhǎng)，在周期性操作的設(shè)備中，當(dāng)裝料和卸料的時(shí)候，為了縮短工作周期而不切斷擴(kuò)散泵和油增壓泵的電源，將高真空閥和前級(jí)管道閥關(guān)閉，使主泵處于正常工作狀態(tài)。由于閥門等總會(huì)有極少量的漏氣和表面放氣，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間主泵出口壓強(qiáng)增加，若超過(guò)主泵的最大排氣壓強(qiáng)而返流到泵中，則會(huì)使油蒸氣氧化。

    為了解決這個(gè)問(wèn)題，一個(gè)辦法是用前級(jí)泵繼續(xù)抽除主泵排出的氣體，但此時(shí)主泵內(nèi)排出的氣體量很小，出現(xiàn)前級(jí)泵大馬拉小車的現(xiàn)象。浪費(fèi)許多能源。為此可采用另一種辦法，停止前級(jí)泵工作，關(guān)閉前級(jí)管道閥門，在主泵出口處設(shè)置維持泵或儲(chǔ)氣罐，這就可以保證即能排出主泵內(nèi)的氣體，又可以節(jié)省能源消耗。儲(chǔ)氣罐不能作得很大，它只能用在以擴(kuò)散泵為主泵的小型系統(tǒng)上，而維持泵可用在大型主泵的系統(tǒng)上。儲(chǔ)氣罐的另一個(gè)作用是某些較小應(yīng)用設(shè)備，在其工藝過(guò)程中不允許有振動(dòng)，即在工藝進(jìn)行時(shí)必須停止前級(jí)泵的工作，這時(shí)要用儲(chǔ)氣罐來(lái)儲(chǔ)存在工藝過(guò)程中主泵所排出的氣體，以保證工藝過(guò)程中被處理工件的質(zhì)量。

    用于防振目的而設(shè)置儲(chǔ)氣罐的容積的計(jì)算是根據(jù)在機(jī)械泵停止工作這段時(shí)間里，擴(kuò)散泵從真空室中排出的氣體全部排到儲(chǔ)氣罐中，引起罐中壓強(qiáng)增高不超過(guò)擴(kuò)散泵出口的最大排氣壓強(qiáng)來(lái)計(jì)算的。

    用于節(jié)能和縮短工作周期為目的的儲(chǔ)氣罐的容積，其計(jì)算辦法基于如下考慮：當(dāng)前級(jí)泵停止工作時(shí)，而擴(kuò)散泵仍處于正常工作狀態(tài)，這時(shí)擴(kuò)散泵將氣體排到儲(chǔ)氣罐中。此時(shí)氣體來(lái)源是擴(kuò)散泵入口上的高真空閥門到擴(kuò)散泵出口的前級(jí)管道閥之區(qū)間的漏氣流量和這一區(qū)間的表面放氣流量，這些氣流量引起擴(kuò)散泵出口壓強(qiáng)增高，但不能超過(guò)擴(kuò)散泵的最大排氣壓強(qiáng)。

    使用維持泵的目的是節(jié)能，它設(shè)置在油蒸氣流泵的出口處，一般與前級(jí)機(jī)械泵并聯(lián)。通常維持泵與前級(jí)泵是同一類型的泵。經(jīng)驗(yàn)表明，維持泵的抽速大小可以是前級(jí)泵抽速的十分之一�？梢�(jiàn)使用維持泵即能大量節(jié)約能源，又能減小環(huán)境噪音。