玻璃-金屬封接的工藝參數(shù)包括溫度、時(shí)間、氧化膜的厚度及保護(hù)氣氛的控制。

　　溫度是玻璃-金屬封接中最關(guān)鍵的參數(shù)之一,它根據(jù)封接類型及材料選擇的不同而不同。封接溫度過高,封接件中應(yīng)力增大(α2t 線出現(xiàn)拐點(diǎn)) ,如圖2 為F215 合金與康寧7052#玻璃的線性膨脹圖,在A 點(diǎn),玻璃的膨脹系數(shù)線出現(xiàn)拐點(diǎn),這樣將導(dǎo)致封接件質(zhì)量較差;同時(shí),封接溫度過低,封接材料難以進(jìn)行有效充分的封接。

　　氧化膜的厚度對(duì)封接件的透氣率、強(qiáng)度等有著至關(guān)重要的作用。當(dāng)氧化膜過薄時(shí),封接時(shí)氧化層完全熔于玻璃,造成玻璃與金屬基體表面的直接封接, 使封接強(qiáng)度下降; 氧化膜過厚, 造成金屬表面殘留較厚的氧化膜,封接件易發(fā)生漏氣現(xiàn)象,影響其氣密性。目前,一般采用測(cè)量增重的氧化膜的方法去衡量氧化膜厚度(一般為3～7g/ m2 )。如圖3為可伐合金氧化膜形成的工藝封接時(shí)間。保護(hù)氣氛對(duì)封接也有一定的影響。

結(jié)論

　　(1) 匹配封接性能優(yōu)于壓力封接, 但對(duì)材料的要求較高,成本高;壓力封接的耐壓值高, 成本低。

　　(2) 封接工藝參數(shù)包括溫度、氧化膜厚度、封接時(shí)間、保護(hù)氣氛控制等。

　　(3) 封接材料的選擇及相應(yīng)的工藝參數(shù)控制對(duì)封接件的性能影響至關(guān)重要。