目前在半導體行業(yè)中，包括TFT-LCD、OLED、LOW-E、PVD、CVD、ITO、FPD等工藝，在對真空腔室動力給進中的動密封技術廣泛采用是磁流體密封技術，俗稱“零”泄漏。磁流體能有效隔絕外界雜質對真空腔室污染和真空腔室內氣體的泄漏，對而減少不必要的停機時間。

　　磁性流體：也叫磁流體，磁液。磁性流體是一種新型的功能材料，是以液體形式存在的導磁材料。

　　它是由直徑為10納米量級的導磁固體顆粒均勻分散到基載液中而形成的一種穩(wěn)定的液體，既具有液體的流動性, 又具有良好的導磁性。根據基載液的不同可分為酯基類、水基類、硅油基類等。

　　磁流體密封原理：磁流體密封技術就是利用磁流體對磁場的良好響應特性而實現(xiàn)的。當把磁流體注入到由高性能的永久磁鐵，導磁良好的極靴與旋轉軸所構成的磁回路間隙中，在磁場的作用下，磁流體在間隙中形成數(shù)個液態(tài)的“O”形圈，從而起到密封作用。

磁流體密封示意圖

磁流體密封裝置剖面示意圖

磁流體的特性：

　　1．長壽命：液態(tài)“Ο”型圈密封，無固體接觸磨損。密封件壽命取決于軸承的使用壽命，可長達十年安全運行壽命，期間不需要維護。

　　2．最佳的扭矩傳遞：磁流體密封屬“液－固”接觸式密封，無磨損。它不存在傳統(tǒng)密封中，密封件與旋轉軸固－固兩相界面之間的磨損泄漏問題，100%動力給進傳輸，無轉矩損失。

　　3．“零”泄漏：即使采用氦質譜檢測儀檢測，在泄漏率為1×10^-12 Pa·m³/s也很難檢測。

　　4．高真空度：真空度能保持1×10^-6 Pa。

　　5．適應不同轉速工況：適應不同轉速的場合，在高轉速下密封性依然穩(wěn)定。

　　6．耐壓差性能好：每一級液態(tài)“O”形圈耐壓差為0.025MPa左右，總體耐壓隨液態(tài)“O”形圈的級數(shù)增加而增加。

　　磁流體動密封技術是目前被世界各國廣泛公認的“零泄漏”動密封先進技術。