油增壓泵（油擴散噴射泵）的工作原理與結構

2020-05-03 真空技術網 真空技術網整理

1、概述

　　油增壓泵的工作原理與油擴散泵相似，因此具有相似的特點，并且應用領域也相似。只是油增壓泵工作壓強范圍比油擴散泵高(10～10-2Pa)，所以油增壓泵除作主泵外，還可作油擴散泵的前級泵，起增壓作用。

2、油增壓泵的工作原理與結構

油增壓泵的工作原理圖

圖5：油增壓泵的工作原理圖

　　油增壓泵的結構示意圖如圖5所示。其工作原理與油擴散泵相似，仍然是以靠工作射流來攜帶氣體，達到抽氣目的。不同點是油增壓泵的射流主要是以靠被抽氣體與蒸汽射流之間的粘滯摩擦來攜帶氣體進行抽氣。為使油增壓泵能在較高的壓強區域內工作，必須增大蒸汽射流強度(密度)，所以油增壓泵的加熱功率要比同容量的油擴散泵大得多。

油增壓泵抽氣特性曲線

圖6：油增壓泵抽氣特性曲線

　　圖6表示油增壓泵抽速特性曲線。油增壓泵的性能計算公式與油擴散泵相似，不再贅述。

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