常用氣鎮(zhèn)裝置的結(jié)構(gòu)與安裝位置
最簡單常用的氣鎮(zhèn)閥結(jié)構(gòu)如圖所示。一般均由調(diào)節(jié)件與逆止閥兩部分組成。調(diào)節(jié)件用來控制摻入的氣體量。逆止閥是用來防止泵腔內(nèi)的混合氣體壓力高于摻氣壓力時(shí)出現(xiàn)返流。另外一些較常用的氣鎮(zhèn)閥結(jié)構(gòu)就不列舉出來了。
圖:旋片式真空泵常用氣鎮(zhèn)裝置結(jié)構(gòu)圖
氣鎮(zhèn)孔的位置的設(shè)置一般有兩種形式:
a、在泵的排氣口附近
當(dāng)壓縮腔與排氣口相通時(shí),開始摻氣,一直到泵腔內(nèi)部壓力和外界摻氣壓力相等為止。
b、氣鎮(zhèn)孔設(shè)置在端蓋上
摻氣開始與終了是受轉(zhuǎn)子的端面控制的。氣鎮(zhèn)孔越早接通泵腔,摻氣時(shí)間就越長,摻氣量也就可能大一些。但是為防止摻入的氣體直接進(jìn)入被抽容器中,必須在壓縮腔與吸氣口隔絕時(shí),才能接通氣鎮(zhèn)孔。所以,端蓋上的氣鎮(zhèn)孔是在吸氣終了以后,轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)過一個(gè)角度(10°~15°)時(shí),才開始露出來進(jìn)行摻氣。
對雙級旋片式真空泵氣鎮(zhèn)泵(不論高真空級和低真空級做成等容積或不等容積),氣鎮(zhèn)孔均設(shè)置在低真空級上。
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