1、極限真空不高及其排除：

　　(1)油位太低，不能對排氣閥起油封作用，旋去加油螺塞后有較大排氣聲，并有油霧，證明油位太低，加油即可排除。
　　(2)油為可凝性蒸汽污染而引起之真空度下降，可開氣鎮凈化或換新油。
　　(3)泵口外接管道、容器、測試儀表管道接頭等漏氣，大漏時，旋去加油螺塞有大的排氣聲，并有氣和油霧排出，應找漏，消除之。
　　(4)吸氣管或氣鎮閥橡膠件裝配不當，損壞或老化應調整或更換。
　　(5)油孔堵塞，真空度下降，可放油拆下油箱，松開油嘴壓板，拔出進油嘴，疏通油孔，盡量不要用紗頭擦零件。
　　(6)真空系統有嚴重污染，包括容器、管道等，應予清洗。
　　(7)旋片彈簧折斷，應予調新。
　　(8)旋片、定子或襯套磨損，應予檢查，修整或調換。
　　(9)泵溫過高，這不但使油粘度下降，飽和蒸氣壓升高，還可能造成泵油裂解。應改善通風冷卻，降低環境溫度。如所抽氣體溫度太高，應予先冷卻后再進入泵內，環境溫度高，應盡量采用較好的高速真空泵油或3#擴散泵油。
　　(10)由于零件的變形磨損或移動使止回閥頭的最大開啟高度降低甚至不能開啟，進油過少而使真空度降低，應調整，詳見裝配部分。

2、真空泵噴油

　　檢查油位是否過高，油氣分離器有無泵油或雜物，擋油板位置是否正確、牢固、吸氣口、氣鎮閥的墊好，減霧器是否裝好。

3、漏油

　　查看放油螺塞、油標、油箱墊片是否損壞或裝配不當，有機玻璃有無過熱變形，應調整更換或降低油溫。
　　泵與支座的連接螺釘未墊好，未擰緊，油封裝配不當或磨損，也會漏油，但不會污染場地，不嚴重的可繼續使用，嚴重的應更換油封、墊圈或調整裝配。

4、噪聲過大

　　可因旋片彈簧折斷，進油量增大，軸承磨損，零件損壞而有所增大，應檢查，調整或更換。旋片活動不暢也會引起噪聲增大，環境溫度高，旋片熱膨脹，旋片厚度與轉子配合過緊時應把旋片改薄，厚度間隙可為0.09-0.14mm。

5、返油

　　止回閥未關好，停泵后油位很快下降，可再開再停，觀察變化或拆開檢查，止回閥頭老化變形松動，調換之。
　　二泵蓋內油封裝配不當或磨損或老化松動，調換之。
　　泵蓋或定子平面不平整，修整。

6、泵油發黑，油溫較高，可因油封外圓松動。與轉子發生摩擦引起，應及時更換油封，以免損壞旋片，油封外徑應予測量，宜選大一點的（φ30＋0.25/0.15，φ40＋0.30/0.20）。