渦旋型干式真空泵以其轉動方式不同,分為兩種型式:一種是一個渦旋固定不動(稱為靜渦旋),另一個渦旋圍繞著它公轉平動而不能自轉(稱為動渦旋)的公轉型(Orbiting type);另一種是兩個渦旋同步同方向各自繞自身軸轉動的回轉型(Rotat ingtype)它的兩個渦旋都是動渦旋。

        目前公轉型多為雙腔臥式泵,而回轉型多為單腔立式泵。其工作原理如圖8所示,氣體從周邊吸入向中心壓縮由中間排氣,實現連續吸氣,壓縮和排氣的整個抽氣過程。這種泵壓縮平穩、驅動力矩變化小,故振動小、噪音低(60dB(A)),相鄰的二個月牙腔容積的壓差小,故間隙泄漏也小,而且端面有密封,可得到較高的壓縮比,這種泵從大氣壓抽到極限壓力1～1021Pa,泵的抽速為20～50m³/h,它是一種節能型產品,市場已有出售。

(a) 公轉型

(b) 回轉型

圖8　渦旋型真空泵的抽氣原理圖