德國Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀用于PECVD 鍍膜設備檢漏應用實例(福建最大的太陽能晶體硅電池制造公司)

一、鍍膜設備檢漏原因

　　福建最大的太陽能晶體硅電池制造公司, 專業生產太陽能單晶和多晶電池片. 該公司在生產過程中應用了PECVD沉積 Si3N3減反層, 4-5天設備需要保養一次(清潔MASK, 更換支架等等), 由于是清潔設備內部, 所以存在內部腔體密封性失效的可能. 如果鍍膜設備密封性不好, 鍍出來的產品膜厚會不均勻, 產品四周膜參數會不合格.

　　如果鍍膜設備保養完成后, 能做一次檢漏, 就可以避免很多不合格產品的產生, 達到節約生產成本的目的. 德國 Pfeiffer的HLT 560 氦質譜檢漏儀具有操作簡單, 反應靈敏的特點, 得到了客戶的青睞.

二、鍍膜設備檢漏操作

　　示意圖如下:

　　1、將氦質譜檢漏儀 HLT 560連接到泵組前的檢漏口上.

　　2、啟動檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時啟動鍍膜設備的泵組.

　　3、在鍍膜機內部的真空下降到一定程度的時候,如0.5 mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標準保養時動到的部位.這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號.

　　4、所有可疑點都檢測完成后,關閉檢漏儀,停下鍍膜機的泵組并將鍍膜機打開,將檢測出的漏點進行處理(如更換密封圈,清潔等等).處理完成后,再按照前敘步驟檢查一遍,直到所有漏點都被清除,檢漏過程完成.

　　更多氦質譜檢漏儀應用：http://www.hakuto-vacuum.com/Product.asp?BigClassName=Pfeiffer&Smallclassname=氦質譜檢漏儀

投稿公司介紹：

　　伯東公司 主要經營產品 德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的 真空測量(真空計, 真空規管); 氦質譜檢漏儀;質譜分析儀;真空系統以及美國 Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源.Gamma離子泵

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