日本AIST 在上個世紀末研制出的分壓力測量系統，其工作原理如圖6 所示。用電容薄膜真空計和石英晶體振蕩黏滯真空計作為參考標準，采用電容薄膜規只能測量全壓力，而石英規的測量結果與氣體的全壓力和氣體成分相關的特點，實現了兩種混合氣體分壓力的測量。

圖6 日本建立的分壓力測量系統原理圖

　　1.臭氧生成器　2,6,12.質量流控制器　3,5,13.超高真空角閥　4,14.混合點　7.氧氣A　8.臭氧氣體流　9.電容薄膜壓力計　10.石英規　11.氧氣B 　15.氣體混合裝置　16.臭氧氣體分析器　17.臭氧分解裝置　18.排氣裝置

　　石英真空計是利用石英晶體振蕩器的阻抗與壓力的依賴關系而制造成的黏滯真空計，因為石英晶體振蕩器對溫度非常敏感，就使得實際的真空計的壓力測量下限僅為1Pa，所以建立的校準系統只能在正壓和低真空范圍內工作，其分壓力測量范圍是10² ～ 10⁶ Pa。一般質譜計的真空度在10 ^{- 2} Pa 以下，所以系統無法用于質譜計的校準。系統的工作氣體是氧氣和臭氧，由于系統分析單元的特定性，只能對氧氣和臭氧的混合氣體進行分壓力的測量，所以此系統只能用于特定環境下的分壓力測量，使用范圍比較小。