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貝塞爾盒能量分析器規計量特性研究
本文對貝塞爾盒能量分析器規在N2、Ar、He三種單一成分氣體中10-9 ~10-3Pa 范圍內的靈敏度、穩定性、抽氣與出氣效應以及ESD效應等計量特性開展研究,評價A-T規的性能。
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