熱偶真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理

2016-03-12 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  熱偶真空計(jì)是借助于熱電偶測量熱絲溫度的變化,用熱電偶產(chǎn)生的熱電勢表征規(guī)管內(nèi)的壓力。DL-3型熱偶規(guī)管的壓力測量范圍為102~10-1Pa。

  熱偶真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理圖如圖4-7所示。它由熱偶式規(guī)管和測量線路兩部分組成。熱偶規(guī)管主要由熱絲和熱電偶組成,熱電偶的熱端和熱絲相連,另一端作為冷端經(jīng)引線引出管外,接至測量熱電偶電勢用的毫伏表。測量線路比較簡單。

熱偶真空計(jì)結(jié)構(gòu)原理圖

圖4-7 熱偶真空計(jì)結(jié)構(gòu)原理圖

  測量時(shí),規(guī)管熱絲通以一定的加熱電流。在較低壓力下(λ≥r2),熱偶電勢E決定于規(guī)管內(nèi)的壓力p,這是因?yàn)闊峤z溫度的變化決定于氣體的熱傳導(dǎo)。當(dāng)壓力降低時(shí),氣體分子傳導(dǎo)走的熱量減少,熱絲溫度隨之升高,故熱偶電勢E增大,反之,熱偶電勢E減小。

  規(guī)管加熱電流改變時(shí),對其靈敏度和測量范圍都有影響。如果加熱電流增大,則規(guī)管靈敏度提高,能測較高的壓力,但測量范圍變窄;反之,如果加熱電流減小,則規(guī)管靈敏度降低,只能測量較低壓力,但測量范圍較寬。

  在加熱電流一定的情況下,如果預(yù)先已測出熱偶電勢E與壓力 p的關(guān)系,那就可根據(jù)毫伏表的指示直接給出被測系統(tǒng)的壓力。