磁力傳動真空動密封在真空獲得設備及容積式真空泵上的應用

2014-03-12 王德喜 沈陽工業大學化工裝備學院

  磁力傳動密封裝置在各種真空設備上的應用已經十分廣泛。它不但可以將動密封轉化為靜密封,而且還可以作為機械手通過手動或機動等方式實現向真空容器中傳遞各種不同運動,其安裝的結構形式多為臥式。傳遞的力或轉矩以及直線運動的位移,可根據各種要求進行磁路的結構設計。目前在各種不同用途的真空設備中傳遞的力矩最大已達到1300 N·m,轉矩為110 N·m,直線或螺旋線運動的最大位移量為1.8 m,現在就幾種真空設備上采用的磁力傳動密封裝置介紹如下。

在真空獲得設備及容積式真空泵上的應用

  國內生產的旋片式、滑閥式、余擺線式等容積式真空泵,其轉軸多采用O 形橡膠圈進行密封,泵在工作中由于機械摩擦和振動等原因不但易于漏氣和污染真空環境而且使用壽命短,需經常更換橡膠密封件。采用磁力傳動密封裝置后的容積式真空泵不但在結構上取代了傳遞精度低、振動大、軸與軸承受力不均的皮帶輪傳遞,而且在減小泵體積的同時,也實現了電機與泵的直連。圖10、圖11 分別給出了旋片式機械真空泵、滑閥式機械真空泵兩種不同密封結構比較。

旋片式機械真空泵兩種不同密封結構比較

1. 軸承組件; 2. 內磁轉子; 3. 外磁轉子; 4. 隔離密封套; 5. 支撐架; 6.皮帶輪; 7.端面密封圈; 8- 氣體通道

圖10 旋片式機械真空泵兩種不同密封結構比較

滑閥式機械真空泵兩種不同密封結構比較

1. 軸承組件; 2. 內磁轉子; 3. 外磁轉子; 4. 隔離密封套; 5. 支撐架; 6.皮帶輪; 7.橡膠密封組件

圖11 滑閥式機械真空泵兩種不同密封結構比較

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