滑閥泵應用范圍和使用條件與旋片泵基本相同。

　　滑閥泵因其結構特點，容量比旋片泵大得多，常用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種形式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa，雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(均關氣鎮)。

　　滑閥泵的旋轉質量有較大偏心 ，如沒有很好的質量平衡，會產生較大振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線，很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。

　　滑閥泵的振動限制了泵轉速的提高，泵轉速一般在350～600r/min，個別也有達1000r/min以上的。

　　新型三腔滑閥泵的出現，較好地解決了滑閥泵的質量平衡，使泵的振動得到了有效的控制，泵轉速也可相得到提高。

圖1 滑閥泵工作原理圖

　　泵主要由泵體、偏心輪、滑閥組件和導軌等組成。

　　與泵腔同心的驅動軸帶動偏心輪旋轉，偏心輪帶動滑閥環運動，使滑閥桿在導軌中上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當驅動軸按圖中所示方向轉動時，A腔容積增加，壓力降低，氣體經滑閥桿A腔一側的開口進入A腔，此時處于吸氣過程。當滑閥處于左上方位置時(圖3-16c中)，A腔容積達最大，此時進氣口與A腔隔絕，完成吸氣過程;B腔容積減小，壓縮氣體。當B腔內氣體壓力達到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當滑閥處于左上方位置時，排氣終了。

1.泵蓋 2.氣鎮量調節閥 3.導管 4.逆止閥 5.油氣分離器

圖2 滑閥泵結構圖