羅茨真空泵的概念與優點

2020-05-03 真空技術網 真空技術網整理

　　羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于 1944 年首先出現于德國，是為適應在10～1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵使用。

　　根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵 ( 機械增壓泵 ) 和高真空多級羅茨泵。國內用量最多的為中真空羅茨泵 ( 以下簡稱羅茨泵 ) 。羅茨泵與其它油封式機械泵相比有以下特點：

　　在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;

　　轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速;

　　泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染;

　　泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

　　壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;

　　轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

　　羅茨泵近幾年在國內外得到較快的發展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了廣泛的應用。

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