多級爪型真空泵如圖3所示,它采用了形狀復(fù)雜的爪型轉(zhuǎn)子。這種泵也類似羅茨泵型式,兩個轉(zhuǎn)子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積,吸氣口和排氣口是固定在上下端蓋的側(cè)面上,由轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中自動開關(guān)。

圖3　爪型泵的工作原理

        沿軸向逆流少,如圖4所示。因此在高壓區(qū)它的壓縮比,比羅茨泵的壓縮比高,如圖5所示。

圖4　爪型真空泵

圖5　羅茨泵和爪型泵的壓縮比的比較

          由于這種泵的吸氣口和排氣口安置在泵腔的側(cè)壁上,多級連接起來很方便,氣道流暢,泵內(nèi)腔壓力變化平緩,有利于防止可凝性氣體的凝結(jié)。為了防止可凝性氣體在泵內(nèi)的凝結(jié),也要向泵腔內(nèi)通凈化氣體。這種爪型泵極限壓力為1～10Pa, 抽速為100～180m³/h,有2～4級串聯(lián)的系列產(chǎn)品出售。