磁力傳動式真空動密封的分類及選擇
磁力傳動真空動密封連接裝置可按圖6 所示的不同方法進行分類。
選擇磁力傳動真空動密封裝置時,主要應從真空設備要求傳遞運動的方式、真空容器內壓強的高低以及容器內從事真空工藝的具體要求等方面加以考慮。如傳遞旋轉運動,壓強高于10-5 Pa,磁力驅動介質為氣體時,可選用圖7 所示的同軸圓筒形磁力傳動真空動密封裝置,其內磁轉子可采用永磁體進行工作。如果條件不變,被抽容器內壓強低于10-5 Pa 處于超高真空狀態時,則應將圖7 中的內磁轉子上的永磁體用軟磁材料來取代,以避免超高真空下燒烤時溫度過高引起內磁轉子上永磁體退磁而影響磁力驅動密封裝置的性能。
圖6 磁力傳動真空動密封連接的分類
1.外磁轉子; 2.隔離密封套; 3.內磁轉子; 4.滾動軸承
圖7 同軸圓筒形磁力傳動真空動密封裝置示意
若采用同軸式圓筒形密封隔離套在結構上有困難時,也可采用如圖8 所示的平盤式磁力傳動真空動密封裝置。如果需要選用直線式或復合運動式的密封結構時,可以結合上述各種類型的特點和實際應用的需求選用如圖9 所示的組合式(具有復合運動的)磁力傳動真空動密封裝置。
1.滾動軸承; 2.內磁轉子; 3.隔離密封板; 4.外磁轉子
圖8 平盤式磁力傳動真空動密封裝置結構示意
1.軸承導軌架; 2.筒狀隔離密封套;3. 外滾動軸承;4. 外磁轉子;5.內磁轉子; 6.轉軸;7.法蘭;8.樣品托
圖9 組合式磁力傳動真空動密封裝置結構示意圖
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