非金屬軟件變形真空動密封連接

　　非金屬軟件變形真空動密封連接的主要密封物質是真空橡膠管。由于橡膠管放氣和不能承受高溫，因此，對要求達到1.3×10-4 Pa 以下的壓強，或應進行高溫烘烤的真空設備，限制使用這種連接。當然，如果采用耐熱硅膠，其使用溫度范圍也可以達到150℃。真空橡膠管所傳遞的運動形式主要有兩種，即直線運動和旋轉運動。

　　在應用非金屬柔性元件的動連接密封中，也可以采用橡膠薄板為密封物質。橡膠薄板的外邊緣固定在真空容器的外壁上。內邊緣則固定在軸的突肩上。圓筒形橡膠薄板可以折疊180°，因此在利用圓筒形橡膠板時，連桿工作行程不超過隔板自由狀態(tài)部分外徑的10%。這種結構常常用在氣動真空閥，以及低真空和中真空的閥門中。這種密封裝置雖然結構比較簡單、成本低廉，但是由于非金屬軟件的材料為真空橡膠制品，它不但不能承受轉矩，也會因放氣而影響真空室內真空度的提高，更不能承受高溫的烘烤。因此不宜在超高真空動密封中使用。

金屬軟件變形真空動密封連接

　　在金屬軟件變形的真空動密封連接中采用金屬波紋管實現(xiàn)向真空中傳遞直線運動、擺動和旋轉運動是比較方便的。其特點是在真空中的從動環(huán)節(jié)的位移量大、運動速度高、傳遞的負荷范圍也較寬。

　　利用全金屬波紋管制成的動密封裝置，不但結構較簡單而且在結構中易實現(xiàn)兩種或多種形式的傳動。此外，由于波紋管是薄壁制成的金屬管，并且富有彈性、容易彎曲、伸張和壓縮，又能經(jīng)受高溫烘烤，因此，近年來在一些真空設備上得到了一定的應用。

　　金屬波紋管的主要缺點是制造比較復雜，裝配不夠方便，而且不宜用于傳遞高速度的運動，波紋管在使用時也應注意，首先壓縮要均勻，否則會在管子的圓周上產(chǎn)生局部應力而造成破裂。波紋管只能承受拉、壓而不能承受扭轉。這就使它的應用范圍受到了限制。

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